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        案例分享 | 液晶屏玻璃基板上線路結(jié)構(gòu)的觀察

        更新時間:2024-09-23      點(diǎn)擊次數(shù):392

        隨著電子產(chǎn)品的更新?lián)Q代,顯示屏的清晰度和色彩等要求越來越高。尤其手機(jī)更是如此, 每出一款新的手機(jī),顯示屏的對比度和光亮度、高速度等性能就會有一個質(zhì)的飛躍。我們今天來看看 TFT-LCD 內(nèi)部基板會是一個什么樣的結(jié)構(gòu)呢?


        本文就某個 TFT-LCD 的玻璃基板,采用氬離子束進(jìn)行截面切割,然后上掃描電鏡觀察截面線路的結(jié)構(gòu)。


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          取樣


        玻璃基板一般是表面有一層膜,考慮到膜層非常的薄且軟。制備的時候需要對其保護(hù)。 我們先從一片大的玻璃基板上取1cmX1cm的大小樣塊??梢圆捎?strong>玻璃刀裁剪。

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          樹脂邊緣保護(hù)

        采用可快速固化的 AB 膠,混合均勻后涂覆在樣品有膜層的一邊??刂茦渲暮穸炔灰^ 30um。然后放在加熱臺上 60 度保溫,加速樹脂的固化。大約 2 小時后樹脂就已經(jīng)wan全固化,就可以進(jìn)行下一步。

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          截面磨平

        隨意選取一個截面,放置在1000號的砂紙上進(jìn)行截面磨平。如果條件允許,最好在磨拋機(jī)上進(jìn)行磨平。研磨的過程中控制力道,注意不要把玻璃基板磨碎,膜層破損嚴(yán)重的情況發(fā)生。


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          離子束

        磨平后,我們就可以上氬離子束進(jìn)行切割。目的是把研磨殘留的損傷采用離子束切割的方式去除。完整保留玻璃基板的內(nèi)部結(jié)構(gòu)。

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          電鏡觀察

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        可以看到玻璃基板上的膜層線路結(jié)構(gòu),每層的厚度和排列情況清晰可見。

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        放大1萬倍后線路圖


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          所用儀器:

        徠卡三離子束切割儀 Leica EM TIC 3X

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